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        臺式X射線源 工作波長20nm 脈寬7ns 重復頻率10 Hz  2021-09-01

        激光源產生的紫外/軟X射線輻射是Tingen在激光實驗室開發的,由高脈沖能量YAG激光器(1064nm,800mJ,7ns)聚焦于氣體電離產生。不同的目標氣體對應不同的能譜分布。

        產品型號
        縱向   橫向
        型號 貨號 操作 名稱
        EUV-B-XRAY B80020087 20nm 臺式X射線源 脈寬 7 ns   [PDF] 工作波長 20nm;脈寬 7 ns;脈沖能量(Xe) 3.5 mJ (4π sr, 2% BW);轉換效率 0.45% ;等離子形狀 ? ~ 300 μm;重復頻率 10 Hz 8-10 weeks
        產品特點

        ● 低殘留

        ● 高EUV能量(3.5 MJ)

        ● 最低耗氣量(氣體脈沖持續時間:<1 ms)

        ● 簡單目標氣體交換

        ● 桌面系統

        技術參數

        參數

        單位

        指標

        產品編號


        EUV-B-XRAY

        工作波長

        nm

        20nm

        脈寬

        ns

        7

        脈沖能量(Xe

        mJ

        3.5(4π sr, 2% BW)

        轉換效率

        %

        0.45

        等離子形狀

        NA

        ? ~ 300 μm

        重復頻率

        HZ

        10


        測試數據展示:

        tc.pngtc_副本.png


        tc1.png

        產品應用

        ● 計量:反射測量、吸收

        ● 光譜學(nexafs)

        ● 光學/傳感器測試

        ● EUV損壞調查

        ● 材料相互作用基礎研究

        ● 水窗顯微鏡(λ=2..4納米)

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