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        IXY 系列雙軸高精密運動平臺  2022-01-26  

        卓越的高精密運動臺設計: IXY系列高精密運動平臺優化了高剛性和高動態性能設計,滿足最高動態性能要求的各種應用,是適用于光學、生化、電子制造等領域的理想的雙軸高精密運動系統。

        卓越的精度和穩定的性能: IXY系列運動平臺具有高精度和高運動性能等特點。瑞熒公司基于高精度機械和運動控制相結合的先進整體系統設計,生產出高精度和高性能的單軸、雙軸、多軸高精密運動平臺。

        產品型號
        縱向   橫向
        型號 貨號 操作 名稱
        IXY100-PAA-CMS E80100007 IXY 系列雙軸高精密運動平臺   [PDF] IXY100: 行程100X100 光柵尺類型-P: Invar Based Scale 編碼器輸出AA: Sin/Cos 電纜輸出-CMS: With CMS Box 8-10周
        復制內容純文本
        通用參數

        產品特點

        結構精巧的雙軸高精密運動平臺

        雙電機可實現高產量

        高剛性,良好的兼容性

        導向精度高,精準定位


        產品應用

        二維激光加工

        激光直寫

        光學測量

        自動顯微鏡


        技術參數


        IXY100

        IXY200

        行程

        100mm

        200mm

        精度

        -P: 1.0μm

        -C: 1.5μm

        -P: 1.5μm

        -C: 2.0μm

        重復定位精度(3σ)

        -P: 0.3μm

        -C: 0.6μm

        -P: 0.5μm

        -C: 0.8μm

        運動分辨率 *1

        AA: 10nm

        DS: 200nm

        AA: 10nm

        DS: 200nm

        最大速度 *2

        200mm/s

        300mm/s

        最大加速度 *2

        0.5g

        0.5g

        水平方向直線度

        1.5μm

        3μm

        垂直方向直線度

        2μm

        4μm

        偏航角

        15μrad

        30μrad

        俯仰角

        50μrad

        100μrad

        裝載質量 *3

        10kg

        20kg

        *1 針對不同的控制器、驅動器、環境振動和結構的系統設計可實現不同的運動分辨率,歡迎垂詢。

        *2 針對不同承載重量、控制器、驅動器的系統設計可實現不同的速度和加速度,歡迎垂詢。

        *3 歡迎與瑞熒公司工程師團隊交流具體裝載質量等參數要求,優化高精密運動平臺設計。

        訂購信息

        型號示例:

        IXY100/IXY200 – PAA – CMS


        型號說明:

        系列

        行程

        光柵尺類型

        編碼器輸出

        電纜輸出

        IXY

        100:   100X100

        -P:   Invar Based Scale

        AA:   Sin/Cos

        -CMS: With   CMS Box


        200: 200X200

        -C: Gold Tape   Scale

        DS: 100nm A/B/Z

        -C01: 1m Cable




        DC:   Customize

        -C03: 3m   Cable

         

        控制系統:

        1、根據精密運動平臺參數和應用要求,提供不同的控制系統方案。 

        2、精密運動臺端口和電機參數兼容常見運動控制卡及驅動器。


         

        尺寸圖


        系列

        S

        A

        H

        M

        IXY100

        100

        255

        102

        150

        IXY200

        200

        365

        102

        200

        單位


        (unit   in mm)











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